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vns85978威尼斯城官网大讲堂Ⅱ:使用半导体真空泵时需要care的4个小case

2018-11-01  

半导体手工制作真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中匆子 侄貌兹家妆约坝卸镜奈镏势澹岫陨叭嗽卑踩獬赏胁,易于 ,半导体真空泵应用时需要care的几个安全事项:

1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压


半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机器泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些改动假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,遭成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。以是需要及时的清洗,并在需要的时候设置过滤设备。


2、有效稀释有害气体的浓度


半导体易产生上面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。以噬想导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。譬喻SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。易于 半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩上即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。


3、care氧气的浓度


空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。以是一些环境下需care氧的浓度,采取应用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机器泵可能还需要采取应用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。


4、防止温度过高

比较匆子 侄美斫庹獾悖氲继逶谡婵毡玫挠τ弥校泻ζ灞冉隙啵蘼凼歉墒秸婵毡没易于 怯头饣鞅茫们荒谖露裙撸 摄氏下易燃易爆及有毒气体就会匆子 侄梅⑸O铡5蔽崦窃谑褂谜婵毡玫氖焙颍枰猚are到在导体中的使用安全care事项,以及下期再使用时做好操作使用。

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