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抽气 技术实现

超高真空系统用泵的决定是要紧的。表明超高真空泵应靠供给高的抽速(低的Q/S)并且减小由泵到真空室的返流(小的Po)来降低压强。这里,返流被定义为由泵到系统的任一种气体流或蒸气流。对超高真空系统来说,减少来自泵的污染的鹄的是同其它尽数真空系统一样的,只是超高真空系统中极限压强和所容许的污染程度更低罢了。为了降低污染程度,必须严格遵守正确的抽气步骤。变暖了的液氮冷阱只要在几分忡内就能将所冷凝的蒸气返流到阱上方的清洁区域中去。虽然重新降温会阻止进一步污染,但事易于 中已扩散到清洁区域内的蒸气是无法再除掉了。在高真空范围内是无关紧要的事易于 会破坏低压强下所作的实验的真实性。每种类型的泵本身都具有它所特有的不能抽走而作为杂质存在的气体和蒸气物质。以是,一些泵和阱的联合使用能在尽量减小返流的再是对一切的气体都供给足移的抽速。扩散泵常与钛升华阱联用,低温冷凝泵和升华泵常与离子泵联用,而涡轮分子泵常辅以升华器。易于 可言,没有两类超高真空系统会采取应用同样的泵的组合Plan。虽然可以买到商用抽气系统,但对超高真空应用来说,一贯噬洗其特殊要旨来进行泵的策划和决定的。至今,在决定超高真空泵时仍保留了靠“优选”解决的easy技艺。


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