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抽气时间对于高真空系统的影响

策划高真空系统的基本揣摩之一是将容器抽到给定压强所需的时间。这个时间范围一贯是从几分钟到几个钟点。然则,在某些环境下,所需的抽气时间可能是几秒钟或几天。用理论方法或试验方法来预计时间和压强的关系是非常困难的,因容器内表面的放气率(放气或虚漏)不能细目,而抽气时间和压强是与放气率有关的。

给定质料的放气取决于温度、表面光洁度、在此之上暴露于各种气氛的环境以及清洗方法。当放气显著时,即使近似估计排气时间都可能是非常困难的。策划者用适于较高压强下的关系式,可以预计从大气压到大约10-2Torr的压强-时间曲线。按照稳态(长时间)放气数据及抽气装置的特性,有时可预计最终(极限)压强。令人最感兴趣的区域是从10-2Torr到极限压强之间。


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