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有关超高真空抽气的一些小case

超高真空泛指压强低于1×10-6Pa的真空容量.超高真空的排气是在高真空排气之下进一步排除来自于容器壁的气源。这些气源有被器壁吸附和吸收的气体,有微量的渗透气体。有与固体表面杂质反应产生的气体,还有测量压强的规管因受热而放出的气体等。由此可见.把握各种质料的放气、渗透和蒸气压的详细资料,以及与超高真空相适应的各种抽气手段是策划好超高真空系统的关键。

超高真空系统策划与高真空系统有同样之处,如管路的流导计算,壳体强度计算,主泵抽速计算及泵之间匹配决定,真空圆件的清沽处理及检漏等。

超高真空系统策划也有许多不同之处:决定真空泵的方法不同;对质料要旨更为严格;密封结构和密封质料不同;需采取应用烘烤措施,焊接结构和方法不同;对漏率把握更为严格等。


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